1A

Mô phỏng và phân tích cảm biến áp suất điện dung MEMS dùng màng vật liệu graphene

Tác giả:
Nguyễn Thị Minh,
Lượt xem:
0
Số trong tạp chí:
0/0
Tóm tắt
Cảm biến áp suất điện dung chế tạo dựa trên công nghệ vi cơ điện tử dùng cho áp suất cực thấp sử dụng lớp màng vật liệu graphene đã được đề xuất nghiên cứu. Các đặc tính của cảm biến như độ dịch chuyển của lớp màng, giá trị điện dung và độ nhạy của cảm biến khi có tác động của áp suất bên ngoài đã được mô phỏng và phân tích bằng phần mềm Comsol Multiphysis. Các kết quả đạt được cho thấy cảm biến áp suất điện dung MEMS dùng 3, 5, 7 lớp graphene có độ nhạy tương ứng lên đến 230,8 aF/Pa, 174,4 aF/Pa, 114,4 aF/Pa.
Tin liên quan
Xem thêm
Từ khóa
Các bài cùng số
Nghiên cứu sự nhậy màu của phim Poly(vinyl alcohol) nhuộm màu bị chiếu xạ gamma
Võ Thị Anh, Trịnh Văn Giáp, Trần Đại Nghiệp, Nguyễn Thành Công
1A/0
Một chặn trên chỉ số chính quy của các iđêan cạnh
Đào Thị Thanh Hà
1A/0
Quản lý chất lượng thi công xây dựng công trình giao thông tại Việt Nam - trách nhiệm và nghĩa vụ các bên liên quan
Nguyễn Thị Thu Hằng
1A/0
Mật độ xương và một số yếu tố liên quan ở phụ nữ mãn kinh
Đào Thị Minh Hiền, Trần Đình Quang
1A/0
Tăng cường phi tuyến Kerr chéo của hệ nguyên tử bốn mức năng lượng cấu hình chữ N dựa trên hiệu ứng trong suốt cảm ứng điện từ
Nguyễn Lê Thủy An, Vũ Ngọc Sáu, Đoàn Hoài Sơn
1A/0
Phân tích đặc điểm phân tử bệnh nhân ung thư phổi không tế bào nhỏ tại Bệnh viện Ung bướu Nghệ An
Nguyễn Quang Trung, Nguyễn Thị Thuỷ Lê, Trần Đức Hùng, Ngô Thị Tố Trinh, Võ Thị Quỳnh Trang, Nguyễn Thị Giang An
1A/0

Tạp chí khoa học Trường Đại học Vinh

Vinh University journal of science (VUJS)

ISSN: 1859 - 2228

Cơ quan chủ quản: Trường Đại học Vinh

  • Địa chỉ: 182 Lê Duẩn - Thành Phố Vinh - tỉnh Nghệ An
  • Điện thoại: (0238)3855.452 - Fax: (0238)3855.269
  • Email: vinhuni@vinhuni.edu.vn
  • Website: https://vinhuni.edu.vn

 

Giấy phép xuất bản tạp chí: 163/GP-BTTTT do Bộ Thông tin và Truyền thông cấp ngày 10/5/2023

Giấy phép truy cập mở: Creative Commons CC BY NC 4.0

 

LIÊN HỆ

Tổng biên tập: PGS.TS. Trần Bá Tiến 
Email: tientb@vinhuni.edu.vn

Phó Tổng biên tập: TS. Phan Văn Tiến
Email: vantientkxd@vinhuni.edu.vn

Thư ký tòa soạn: TS. Đỗ Mai Trang
Email: domaitrang@vinhuni.edu.vn

Ban thư ký và trị sự: ThS. Lê Tuấn Dũng, TS. Lê Thanh Nga

  • Địa chỉ Toà soạn: Tầng 4, Tòa nhà Điều hành, Số 182 Lê Duẩn, TP. Vinh, Nghệ An, Việt Nam
  • Điện thoại: (0238)3.856.700 | Hotline: 0973.856.700
  • Email: editors@vujs.vn
  • Website: https://vujs.vn

img